四探針電阻率方塊電阻測試儀注意事項：

　　1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規范操作

　　2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量

　　3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現象

　　4、探針筆測試結束，套好護套，避免人為斷針

　　本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

四探針電阻率方塊電阻測試儀

一、適用范圍

四端測試法是目前較*之測試方法，主要針對高精度要求之產品測試；本儀器廣泛用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導率測試儀自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成圖表和報表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內及國外客戶需求

二、電阻測量范圍： 
1、電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電   阻：1×10-5～2×105Ω

電導率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  最小1μΩ
測量誤差±5%
2、測量電壓量程： 2mV   20mV  200mV 2V 
   測量精度±（0.1%讀數）

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
3、⑴電流輸出：直流電流 0～1000mA 連續可調，由交流電源供電。
   ⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 
   ⑶誤差：±0.2%讀數±2字

4. 主機外形尺寸：330mm*350mm*110mm

5、顯示方式：液晶顯示6、電源：220±10% 50HZ/60HZ

7、標配：測試平臺一套、主機一套、電源線數據線一套。

導電電阻率測試儀功能介紹：本儀器采用四端測量法適用于碳素粉末廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門，是檢驗和分析粉末樣品質量的一種重要的工具。本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、電導率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.使用薄膜按鍵開關面板，操作簡單，耐用，符合人體工學操作規范. 提供中文或英文兩種語言操作界面

導電電阻率測試儀滿足：YST 587.6-2006 炭陽極用煅后石油焦檢測方法 第6部分 粉末電阻率的測定

配置手動粉末測試裝置也可以（選購）自動粉末測試裝置，測試粉末時可以通過裝置獲得粉末壓實后高度、直徑、壓強等數據，輸入儀器后自動計算出所需數據.能方便解決粉末及顆粒物料電阻、電阻率及電導率測量需求，經濟實惠，功能突出，設計合理，是粉末行業理想之測試儀器.

BEST-300C導電材料電阻率測定儀

按照硅片電阻率測量的國際標準（ASTM F84）及標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準，本機配置232電腦接口及USB兩種接口，本機采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進步,特別是方塊電阻值較小的產品測量，更加準確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購

維護和保養

1 .使用者的維護

為了防止意外發生，請不要接觸機內部件。本機器內部所有的零件，絕對不需使用者的維護。如果機器有異常情況發生，請直接與瑞柯儀器公司廠家聯系或其的經銷商給予維護。

2. 使用者的修改

使用者不得自行更改機器的線路或零件，如被更改機器后保修則自動失效并且本公司不負任何事故責任。在保修內使用未經我公司認可的零件或附件造成故障也不予保證。如發現送回檢修的機器被更改，將機器的電路和零件修復回原來設計的狀態，并收取修護費用。

3.測試工作站

3.1工作位置

工作站的位置選擇必須安排在一般人員非必經的處所，使非工作人員選離工作站。如果因為條件限制的安排而無法做到時，必須將工作站與其這它設施隔開并且特別標明“測試工作站"。如果工作站與其它作業站非常接近時，必須特別注意安全的問題。在測試時必須標明“測試執行中，非工作人員請勿靠近"

4.輸入電源

輸入：220V±10%  使用頻率：50Hz

4.3.3工作場所

盡可能使用非導電的工作桌工作臺。操作人員和待測物之間不得使用任何金屬。操作人員的位置不得有跨越待測物去操作或調整測試儀器的現象。測試場所必須隨時保持整齊、干凈，不得雜亂無章。測試站及其周邊之空氣中不能含有可燃氣體或在易燃物質。

4.3.4人員資格

本儀器為精密儀器，必須由訓練合格的人員使用和操作。

4.3.5安全守則

操作人員必須隨時給予教育和訓練，使其了解各種操作規則的重要性，并依安全規則操作。

4.3.6衣著規定

操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

4.3.7醫學規定

絕對不能讓有心臟病或配戴心律調整器的人員操作。

4.4測試安全程序規定

一定要按照規定程序操作。操作人員必須確定能夠*自主掌控各部位的控制開關和功能。

4.5安全要點

● 非合格的操作人員和不相關的人員應遠離測試區。

● 萬一發生問題，請立即關閉電源并及時處理故障原因。

1.使用前期準備--測試前準備工作：

1.1.開機預熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關，讓儀器預熱15分鐘，保證測試數據穩定。若測試儀無常啟動，請按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開關是否已經打開

③檢查保險絲是否熔斷，如有必要，請更換保險絲

④ 如經上述檢查無誤后，測試儀仍未正常啟動，請聯系本公司進行解決。

1.2.準備好被測物，鏈接好測試探頭，把測試探頭接口與主機接口相連接，并鎖定，防止松動或接觸不良而對測試結果造成影響.

1.3.接通電源，開啟電源開關，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產品信息后，如圖3，按“顯示"鍵進入，

1.4.進入測試功能界面如圖4、圖5；如測試方阻時，請選擇液晶顯示屏又側對應 的功能按鍵“方阻"，則進入方阻測試界面；如測試其他材料時，請選擇“材料"則進入材料電阻，電阻率，電導率測試儀界面。

1.5.設置好被測物所需之參數，把被測物放于測試治具平臺上操作，測試完畢直接顯示測試數據。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請注意查看操作步驟.

以下分別講解方阻和材料測試的設置

2.四探針方阻測試步驟

2.1.上述步驟中1項，使用前期準備

2.2 把被測物測試所需要之參數數據設定：

2.2.1依據不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設置：按方向鍵移動光標至“電流"功能，按“設置"鍵進入；再按“左右"方向鍵選擇電流數據，選擇完畢后按“確定"鍵進行確認。按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設定、溫度.

2.2.2.探針間距數據的輸入，探針間距出廠時已經標定，無需再次測量，探針頭上有詳細的探針數據資料，探針間距的設置：將光標移動至“探針間距"按“設置"鍵進入，通過面板上面的“數字"按鍵輸入數據按“確定"鍵進行確認；按照以上方法和步驟設定"厚度“，注意厚度和探針間距修正系數表已經設置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。

2.3.測試探頭和測試平臺操作

選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調節探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結構；調節測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭至被測物，帶數據穩定后讀取

材料電阻測試步驟：

操作步驟及流程

3.1.本機可以依據不同測試產品選擇配置不同的測試治具，以下舉例操作說明

3.1.1.在開機界面按下按鍵板上的“顯示"鍵，進入測量界面。如圖1

3.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側有4個藍色功能按鍵，當測材料電阻率時，請選擇 “材料"按鍵 ，進入材料測試主界面.  

3.1.3.在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動藍色光標選擇相應的參數。如圖2，將移動到某一參數的位置，按下“設置"鍵，光標將變為深藍色。此時通過上下左右鍵和數字鍵可以對相應的參數進行設置，設置完畢后按“確定"鍵返回。

3.1.4.如圖3接線方式，把主機與夾具連接線，連接好并固定住，

3.1.5.取試樣，試樣試驗前的處理依據標準進行，

3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個接口與探頭接線位置連接，后，放入被測樣品，輸入高度數據（為探針之間的間距），其他數據為樣品本身尺寸。

3.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測樣品表面，帶數據穩定后讀數.

3.1.8. 按下“放大"鍵對應的按鍵可以對當前界面的測量數據進行放大

3.1.9. 待參數設置完畢，開始測量，把測試獲得的數據寫入試驗報告中

3.1.10.以下設置和功能屬于配置操作軟件機型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請勿設置.

3.1.11.接口：可選擇“USB"和“232"兩種模式。根據用戶使用的接口類型進行選擇。

測試功能：可選擇：“RρK"（顯示電阻，電阻率，電導率），“R"（只顯示電阻），“ρ"（只顯示電阻率，“K"（只顯示電導率）3種顯示模式。

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